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            產(chǎn)品展示NEWS CENTER
            
        
        在發(fā)展中求生存，不斷完善，以良好信譽和科學的管理促進企業(yè)迅速發(fā)展
    
            

            



            
	
            
        產(chǎn)品展示
    
            
    
            
        
            首頁-產(chǎn)品展示-工業(yè)及半導體檢測解決方案-晶圓缺陷光學檢測設備-AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機


            
    
            

            




            
	
    
             
    	
            
        
            
            
            
                        
                        
            
                             
             
            
                            
            
                            
                            
            
                           
                        
            
                        
            
                            
                            
            
                                
              
                                
                                    
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            半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機
            
            
            產(chǎn)品型號：AWL系列
            簡要描述：SOPTOP AWL 系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機是由高精度光學檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運系統(tǒng)組成，支持4-12寸的晶圓尺寸，可輕松實現(xiàn)多角度、全視野的宏觀檢查、以及晶圓微觀細節(jié)的高清捕捉，可對半導體過程工藝中的關鍵參數(shù)、缺陷問題進行有效監(jiān)控，是晶圓來料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。
            
            
              
            	
            • 企業(yè)實力
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            • 有效保修
              Valid Warranty
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            • 質量保障
              Quality Assurance
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            詳細介紹
            
            
            
            	
            AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查
            一個晶圓在經(jīng)過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴搬運機在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
            SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機型，多類配置，分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測，適應范圍廣、搭配靈活 。
            AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機可自由設置的檢查模式，充分符合人機工程學設計，操作舒適、簡便。
            1.360°宏觀檢查：
            AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°，晶背 1 最大傾斜角度 90°，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉功能、傾斜角度，可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
            2.人機工程學設計：
            LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗，可清晰的顯示當前檢查項目及次序，調試參數(shù)一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。
            3.精密微觀檢查：
            采用專業(yè)半復消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng)，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。
            4.AWL 應用領域：
             
            
            
            
            
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                請輸入計算結果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7
            
              
		
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